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Quartz
Quartz는 고온 안정성, 내화학성, 내식성이 우수하고, 고순도의 특징이 있어
반도체 산업의 부품 소재로 널리 활용되고 있으며, 반도체 공정 중 주로 식각공정에서 사용.
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Edge Ring
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