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SiC

SiC (Silicon Carbide)은 Plasma에 대한 내화학성과 내마모성이 좋아
Wafer 가장자리에 위치하여 주로 생산 수율을 높여주는 역할을 함.

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    12”SiC Ring 12”SiC Ring
    작성자 관리자 작성일 07-28 조회 1
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    12”SiC Ring 12”SiC Ring
    작성자 관리자 작성일 07-28 조회 1
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    12”SiC Chuck 12”SiC Chuck
    작성자 관리자 작성일 07-28 조회 2
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    SiC Tray SiC Tray
    작성자 관리자 작성일 07-28 조회 2

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