식각 공정에 사용되는 실리콘 소모성 부품은 Electrode, Ring 외 다수. Electrode 는 식각공정에서 Gas를 통과시켜 Wafer 표면에 Plasma가 균일하게 분사되어 미세선을 식각하게 하는 부품이며, Ring은 챔버 내에 상부와 하부에 장착되어 Electrod와 Wafer를 평행하게 고정시키고, 플라즈마가 정확한 위치에 모여지도록 하는 역할을 함.
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